產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，外形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；
2. 掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體，抗干擾能力強(qiáng)；
3. 精密激光檢測(cè)及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單，操作方便；
4. 采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；
5. 伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制，驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；
6. 高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域；
7. 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
8. 采用伺服馬達(dá)控制CCD對(duì)焦和光學(xué)放大；
9. 模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；
10. 集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。
軟件特點(diǎn)
1. 可觀測(cè)樣品掃描時(shí)的表面形貌像、振幅像和相位像
2. 具備接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式
3. 多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖
4. 多種曲線力-間距（F-Z）、頻率-RMS（f-RMS)、RMS-間隙（RMS-Z)測(cè)量功能
5. 可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域
6. 激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能
7. 針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能
8. 可任意定義掃描圖像的色板功能
9. 支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能
10. 支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正
11. 支持樣品圖片離線分析與處理功能
1. 可觀測(cè)樣品掃描時(shí)的表面形貌像、振幅像和相位像
2. 具備接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式
3. 多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖
4. 多種曲線力-間距（F-Z）、頻率-RMS（f-RMS)、RMS-間隙（RMS-Z)測(cè)量功能
5. 可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域
6. 激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能
7. 針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能
8. 可任意定義掃描圖像的色板功能
9. 支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能
10. 支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正
11. 支持樣品圖片離線分析與處理功能
技術(shù)規(guī)格
| 名 稱 | 參 數(shù) | 名 稱 | 參 數(shù) |
| 工作模式 | 接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力 | 掃描角度 | 任意 |
| 樣品尺寸 | Φ≤90mm，H≤20mm | 樣品移動(dòng)范圍 | 0～20mm |
| 最大掃描范圍 | 橫向50um，縱向5um | 光學(xué)放大倍數(shù) | 10X |
| 掃描分辨率 | 橫向0.2nm，縱向0.05nm | 光學(xué)分辨率 | 1um |
| 掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz | 圖像采樣點(diǎn) | 256×256，512×512 |
| 掃描控制 | XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A | 反饋方式 | DSP數(shù)字反饋 |
| 數(shù)據(jù)采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D 多路同步采樣 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
| 儀器重量體積 | 40KG，700′480′450mm | 計(jì)算機(jī)接口 | USB2.0 |
| 運(yùn)行環(huán)境 | 運(yùn)行于WindowsXP/7/8操作系統(tǒng) | ||